Мишени из тантала: Мишени для напыления из молибдена-тантала

alexxlab | 11.06.1989 | 0 | Разное

Содержание

Мишени для напыления из молибдена-тантала

Благодаря очень хорошей адгезии к стеклу и высокой электропроводности молибден является популярным материалом для электрических слоев в тонкопленочных транзисторах (TFT-LCD) и в датчиках касания (сенсорные панели). Эти слои подвергаются воздействию влаги и агрессивных сред в процессе производства и в ходе эксплуатации дисплея. Добавление тантала значительно увеличивает химическую стойкость материала. Кроме того, молибден-танталовый слой очень удобно структурировать методом жидкостного химического травления.

  • Высокая степень чистоты:
    >99,97 %

  • Максимальная плотность
    > 98 %

  • Однородная микроструктура и однородный химический состав

Производство мишеней из молибдена-тантала

Мы специализируемся на производстве тугоплавких металлов методом порошковой металлургии. Наши мишени из MoTa создаются путем тщательного смешивания чистейшего металлического порошка. Содержание тантала в мишени регулируется в зависимости от применения и может составлять до 11 массовых процентов. Затем порошок прессуется, равномерно уплотняется в наших агломерационных установках, и затем из него формируется мишень. Заключительный этап обработки мишеней из MoTa выполняется в наших собственных цехах припайки. Наши мишени из MoTa соответствуют самым высоким стандартам качества.

Максимальная плотность и однородная микроструктура

Молибден-танталовые мишени для напыления от Plansee приобретают высокую плотность в ходе специальных процессов формовки. Преимущество: метод вакуумного напыления (PVD) обеспечивает равномерную скорость нанесения и улучшает свойства покрытия. Результат — повышение производительности и более рациональное использование материала при создании тонких слоев. Благодаря порошковой металлургии мы можем целенаправленно регулировать микроструктуру материала покрытия с учетом условий эксплуатации.

Высочайшая чистота

Наши мишени соответствуют самым высоким требованиям к чистоте. Основные преимущества: отличная электропроводность слоя и минимальное образование частиц в процессе PVD. Металлические и неметаллические загрязняющие примеси в мишени для напыления переходят в напыляемый функциональный слой и ухудшают его свойства или приводят к образованию частиц в процессе PVD (эффект дуги). Гарантированная минимальная чистота наших мишеней из MoTa составляет 99,97 %.

Центр компетенций для разработки новых решений в области покрытий

При PVD-напылении все параметры и процессы должны быть согласованы. Только так можно получить покрытие, в точности соответствующее требованиям заказчика. В нашей прикладной лаборатории по нанесению покрытий методом PVD мы проводим напыление в условиях, близких к реальным. Команда разработчиков формирует слои и анализирует их соответствие заданию. В сотрудничестве с клиентами и многочисленными партнерами по разработке в короткие сроки создаются новые материалы для покрытий. А благодаря давним контактам с производителями оборудования и OEM участвуем в новейших изысканиях и оптимизациях.

Лучшее доказательство нашего мастерства — это мы сами. Создаваемые покрытия мы используем для множества собственных изделий, например полупроводниковых подложек и вращающихся анодов, и наносим эти покрытия собственными силами с помощью таких технологий, как PVD, CVD, APS и VPS.

Сырье: надежные источники и полный контроль

Все этапы создания мишеней для напыления — от подготовки сырья до выпуска конечного продукта — мы выполняем собственными усилиями под строжайшим контролем. Сюда же относятся и разработка новых материалов, и оптимизация методов нанесения покрытий. Спекание — центральный процесс нашей технологии порошковой металлургии. Из пористых порошковых компактов мы изготавливаем плотные металлические заготовки. Вольфрамовые мишени производятся на самом большом в мире стане горячей прокатки тугоплавких металлов. Затем в локальных цехах припайки мишени соединяются с материалом-носителем и выпускаются уже готовыми к установке.

В течение целого столетия наши клиенты доверяют Plansee — независимому частному предприятию. Для них, как и для нас, надежность и стабильность входят в число главных приоритетов, особенно когда речь идет о снабжении сырьем. За счет сотрудничества с компаниями Global Tungsten & Powders (GTP) и Molibdenos y Metales (Molymet) Plansee Group охватывает все этапы переработки вольфрама и молибдена — от изготовления порошка до создания полуфабрикатов и компонентов в соответствии с индивидуальными требованиями заказчика. Что особенно важно: танталовый порошок мы получаем из сертифицированных бесконфликтных источников сырья.

Другие продукты для отрасли нанесения покрытий:

  • Мишени для напыления из молибдена

  • Мишени для напыления / вращающиеся мишени из молибдена

  • Мишени для напыления из молибдена-натрия

  • Мишени для напыления из молибдена-ниобия

  • Мишени для напыления из оксида молибдена

  • Мишени для напыления из молибдена-вольфрама

  • Мишени для напыления из вольфрама

  • Мишени для напыления из вольфрама-никеля

  • Мишени для напыления из вольфрама-титана

Атомная энергия.

Том 91, вып. 3. — 2001 — Электронная библиотека «История Росатома»Атомная энергия. Том 91, вып. 3. — 2001 — Электронная библиотека «История Росатома»

Главная → Указатель произведений

ЭлектроннаябиблиотекаИстория Росатома

Ничего не найдено.

Загрузка результатов…

 

 

Закладки

 

 

 

0165166167168169170171172173174175176177178179180181182183184185186187188189190191192193194195196197198199200201202203204205206207208209210211212213214215216217218219220221222223224225226227228229230231232233234235236237238239240241242243244Обложка (с. 3)

 

 

Увеличить/уменьшить масштаб

По ширине страницы

По высоте страницы

Постранично/Разворот

Поворот страницы

Навигация по документу

Закладки

Поиск в издании

Структура документа

Скопировать текст страницы

(работает в Chrome 42+,
Microsoft Internet Explorer и Mozilla FireFox
c установленным Adobe Flash Player)

Добавить в закладки

Текущие страницы выделены рамкой.

 

Содержание

0Обложка

165Титульный лист

165Содержание

166Contents

 167Статьи

 167

Аркадов Г. В., Овчаров О. В., Павелко В. И., Усанов А. И., Липтак П., Словак Р.

Измерение расхода теплоносителя через топливный канал ВВЭР-440 по флюктуациям сигналов датчиков прямого заряда 174

Дегтярев А. М., Мясников А. А.

Особенность регулирования мощности реактора с отрицательной обратной связью 180

Касиков И. И.

Электрическая прочность вторично-эмиссионных атомных батарей 183

Ровный С. И., Березюк А. И., Проничев М. В., Серов С. Е., Европин С. В., Синицын Е. Н., Козырев В. Л., Шмелев Д. Н., Кондратович А. А.

Становление и развитие расчетных методов оценки прочности оборудования и трубопроводов радиохимического производства ПО «Маяк» 189

Сазонов А. Б., Каграманов З. Г., Магомедбеков Э. П., Андреев Б. М., Асновский В. Н., Баранов С. В., Глазков С. П., Жарков А. В., Кожанов М. Г.

Моделирование процессов криогенной ректификации тритийсодержащих изотопных смесей водорода 199

Кащук Ю. А., Фрунзе В. В.

Влияние борного экрана на чувствительность нейтронных камер деления 206

Севастьянов В. Д., Кошелев А. С., Маслов Г. Н.

Механизм формирования спектра мгновенных нейтронов при делении ядер 235U, 239Pu, 252Cf 212

Тетерев Ю. Г., Белов А. Г.

Наведенная активность тормозной мишени ускорителя электронов энергией 10 МэВ 216

Потапов В. Н., Игнатов С. М., Чиркин В. М., Линник В. Г.

Радиометрический способ измерения активности 137Cs в донных отложениях с помощью погружного водного детектора 223

Чайковская Э. Л., Высоцкий В. Л., Гичев Д. В.

Закономерности формирования радиационной обстановки на территории Приморского края

 238Рефераты статей

 239Научно-технические сообщения

 239

Королев А. В.

Влияние электрообогрева переменным током на гидравлическое сопротивление каналов 241

Котлов В. М.

Способ обработки статистической информации при дозиметрических измерениях

 244Рефераты статей

Обложка (с. 3)Правила оформления статей

 

 

Обращаясь к сайту «История Росатома — Электронная библиотека»,
я соглашаюсь с условиями использования представленных там материалов.

Правила сайта (далее – Правила)

  1. Общие положения
    1. Настоящие правила определяют порядок и условия использования материалов, размещенных на сайте www.biblioatom.ru (далее именуется Сайт), а также правила использования материалов Сайтом и порядок взаимодействия с Администрацией Сайта.
    2. Любые материалы, размещенные на Сайте, являются объектами интеллектуальной собственности (объектами авторского права или смежных прав, а также прав на средства индивидуализации). Права Администрации Сайта на указанные материалы охраняются законодательством о правах на результаты интеллектуальной деятельности.
    3. Использование материалов, размещенных на Сайте, допускается только с письменного согласия Администрации Сайта или иного правообладателя, прямо указанного на конкретном материале, размещенном на Сайте, или в непосредственной близости от указанного материала.
    4. Права на использование и разрешение использования материалов, размещенных на Сайте, принадлежащих иным правообладателям, нежели Администрация Сайта, допускается с разрешения таких правообладателей или в соответствии с условиями, установленными такими правообладателями. Никакое из положений настоящих Правил не дает прав третьим лицам на использование материалов правообладателей, прямо указанных на конкретном материале, размещенном на Сайте, или в непосредственной близости от указанного материала.
    5. Настоящие Правила распространяют свое действие на следующих пользователей: информационные агентства, электронные и печатные средства массовой информации, любые физические и юридические лица, а также индивидуальные предприниматели (далее — «Пользователи»).
  2. Использование материалов. Виды использования
    1. Под использованием материалов Сайта понимается воспроизведение, распространение, публичный показ, сообщение в эфир, сообщение по кабелю, перевод, переработка, доведение до всеобщего сведения и иные способы использования, предусмотренные действующим законодательством Российской Федерации.
    2. Использование материалов Сайта без получения разрешения от Администрации Сайта не допустимо.
    3. Внесение каких-либо изменений и/или дополнений в материалы Сайта запрещено.
    4. Использование материалов Сайта осуществляется на основании договоров с Администрацией Сайта, заключенных в письменной форме, или на основании письменного разрешения, выданного Администрацией Сайта.
    5. Запрещается любое использование (бездоговорное/без разрешения) фото-, графических, видео-, аудио- и иных материалов, размещенных на Сайте, принадлежащих Администрации Сайта и иным правообладателям (третьим лицам).
    6. Стоимость использования каждого конкретного материала или выдача разрешения на его использование согласуется Пользователем и Администрацией Сайта в каждом конкретном случае.
    7. В случае необходимости использования материалов Сайта, права на которые принадлежат третьим лицам (иным правообладателям, нежели Администрация Сайта, о чем прямо указано на таких материалах либо в непосредственной близости от них), Пользователи обязаны обращаться к правообладателям таких материалов для получения разрешения на использование материалов.
  3. Обязанности Пользователей при использовании материалов Сайта
    1. 3.1. При использовании материалов Сайта в любых целях при наличии разрешения Администрации Сайта, ссылка на Сайт обязательна и осуществляется в следующем виде:
      1. в печатных изданиях или в иных формах на материальных носителях Пользователи обязаны в каждом случае использования материалов указать источник – электронная библиотека «История Росатома» (www.biblioatom.ru)
      2. в интернете или иных формах использования в электронном виде не на материальных носителях, Пользователи в каждом случае использования материалов обязаны разместить гиперссылку на Сайт — электронная библиотека «История Росатома» (www.biblioatom.ru), гиперссылка должна являться активной и прямой, при нажатии на которую Пользователь переходит на конкретную страницу Сайта, с которой заимствован материал.
      3. Ссылка на источник или гиперссылка, указанные в пп. 3.1.1 и 3.1.2. настоящих Правил, должны быть помещены Пользователем в начале используемого текстового материала, а также непосредственно под используемым аудио-, видео-, фотоматериалом, графическим материалом Администрации Сайта.
    2. Размеры шрифта ссылки на источник или гиперссылки не должны быть меньше размера шрифта текста, в котором используются материалы Сайта, либо размера шрифта текста Пользователя, сопровождающего аудио-, видео-, фотоматериалы и графические материалы Сайта, а также цвет ссылки должен быть идентичен цветам ссылок на Сайте и должен быть видимым Пользователю.
    3. Использование материалов с Сайта, полученных из вторичных источников (от иных правообладателей, нежели Администрация Сайта, о чем прямо указано на таких материалах либо в непосредственной близости от них), возможно только со ссылкой на эти источники и, в случае необходимости, установленной такими источниками (правообладателями), — с их разрешения.
    4. Не допускается переработка оригинального материала (произведения), взятого с Сайта, в том числе сокращение материала, иная его переработка, в том числе приводящая к искажению его смысла.
  4. Права на материалы третьих лиц, урегулирование претензий
    1. Материалы, права на которые принадлежат третьим лицам, размещенные на Сайте, размещены либо с разрешения правообладателя, полученного Администрацией Сайта, либо, в случае, если таковое использование прямо не запрещено правообладателем, в соответствии с Законодательством РФ в информационных целях с обязательным указанием имени автора, материал которого используется, и источника заимствования.
    2. В случае, если в обозначении авторства материалов в соответствии с п. 4.1. настоящих Правил содержится ошибка, или в случае использования материала с предполагаемым или реальным нарушением прав третьих лиц, или в иных спорных случаях использования объектов интеллектуальной собственности, размещенных на Сайте, в том числе в случае, когда права третьего лица тем или иным образом нарушаются с использованием Сайта, применяется следующая схема урегулирования претензий третьих лиц к Администрации Сайта:
      1. в адрес Администрации Сайта по электронной почте на адрес info@biblioatom.
        ru направляется претензия, содержащая информацию об объекте интеллектуальной собственности, права на который принадлежат заявителю и который используется незаконно посредством Сайта или с нарушением правил использования, или иным образом права заявителя как обладателя исключительного права на объект интеллектуальной собственности, размещенный на Сайте, нарушены посредством Сайта, с приложением документов, подтверждающих правомочия заявителя, данные о правообладателе и копия доверенности на действия от лица правообладателя, если лицо, направляющее претензию, не является руководителем компании правообладателя или непосредственно физическим лицом — правообладателем. В претензии также указывается адрес страницы Сайта, которая содержит данные, нарушающие права, и излагается полное описание сути нарушения прав;
      2. Администрация Сайта обязуется рассмотреть надлежаще оформленную претензию в срок не менее 5 (пяти) рабочих дней с даты ее получения по электронной почте. Администрация Сайта обязуется уведомить заявителя о результатах рассмотрения его заявления (претензии) посредством отправки письма по электронной почте на адрес, указанный заявителем, а также направить ответ в письменном виде на адрес, указанный заявителем (в случае неуказания такового адреса отправки, обязательство по предоставлению письменного ответа на претензию с Администрации Сайта снимается). В том числе, Администрация Сайта вправе запросить дополнительные документы, свидетельства, данные, подтверждающие законность предъявляемой претензии. В случае признания претензии правомерной, Администрация Сайта примет все возможные меры, необходимые для прекращения нарушения прав заявителя и урегулирования претензии;
      3. Администрация Сайта в любом случае предпринимает все возможные меры к скорейшему удовлетворению обоснованных претензий третьих лиц и стремиться к максимально скорому урегулированию всех спорных вопросов.
  5. Прочие условия
    1. Администрация Сайта оставляет за собой право изменять настоящие Правила в одностороннем порядке в любое время без уведомления Пользователей. Любые изменения будут размещены на Сайте. Изменения вступают в силу с момента их опубликования на Сайте.
    2. По всем вопросам использования материалов Сайта Пользователи могут обращаться к Администрации Сайта по следующим координатам: [email protected]
    3. Во всем, что не урегулировано настоящими Правилами в отношении вопросов использования материалов на Сайте, стороны руководствуются положениями Законодательства РФ.

СогласенНе согласен

1.2. Диэлектрические свойства пятиокиси тантала

Пятиокись тантала (Ta2O5) в виде тонких пленок обладает чрезвычайно высокими изоляционными свойствами. В промышленности тонкие пленки пятиокиси тантала получают, главным образом, тремя способами: электрохимическим окислением тантала, катодным реактивным распылением тантала и плазменным окислением тантала.

Электрохимическое окисление заключается в том, что подложку с достаточно толстой пленкой очень чистого тантала погружают в подходящий электролит. Между танталовой пленкой и другим вспомогательным электродом прикладывается постоянное напряжение, так что пленка тантала является анодом. Толщина образовавшейся на тантале оксидной пленки зависит от величины приложенного напряжения и совершенно не зависит от природы электролита.

По второму способу танталовая мишень распыляется в смеси двух газов: инертного аргона и реактивного кислорода. В смеси газов создается тлеющий разряд, танталовая мишень является катодом и распыляется под ударами падающих на нее положительных ионов аргона. Вылетевшие из мишени атомы тантала окисляются в газовой смеси до пятиокиси тантала, которая осаждается на подложку.

Способ плазменного окисления во многом схож с первым способом. Окисление пленки тантала на подложке ведется в тлеющем разряде, образованном в смеси газов аргона и кислорода. Толщина образованной оксидной пленки зависит от многих факторов.

Лучшими изоляционными свойствами обладают пленки пятиокиси тантала, полученные электрохимическим окислением. Вот их параметры: относительная диэлектрическая проницаемость , тангенс угла диэлектрических потерь =0.003 в широком диапазоне частот, электрическая прочность E=105-106 В/см, в зависимости от толщины пленки.

Оксидные пленки на тантале обладают двумя существенными недостатками. Во первых, вследствие сравнительно высокого электрического сопротивления тантала диэлектрические потери пленочной структуры тантал-пятиокись тантала-металл быстро увеличиваются с ростом частоты приложенного напряжения. Во-вторых, фотолитография пленок тантала и особенно его оксидных пленок связана с определенными трудностями, причиной чего является высокая химическая пассивность указанных материалов.

В радиоэлектронике оксидные пленки на тантале применяют для изготовления танталовых конденсаторов различных типов: оксидно-полупроводниковых с твердым электролитом, бескорпусных и пленочных для гибридных интегральных схем. Все танталовые конденсаторы работают на частотах не выше 1 МГц.

Идеальный диэлектрик, поляризованный переменным электрическим напряжением, пропускает сквозь себя переменный ток смещения. При этом сдвиг фаз между током и напряжением равен 90 град. Такой диэлектрик можно представить эквивалентной электрической схемой в виде конденсатора. В реальном диэлектрическом материале, помещенном в электрическое поле, всегда энергия электрического поля частично рассеивается в тепло. Это явление называется диэлектрическими потерями. Поэтому в схему замещения реального диэлектрика следует добавить резистор.

Существуют две простейшие схемы замещения диэлектрика: параллельная и последовательная (рис. 1).

R

C R

C

Рис. 1. Параллельная и последовательная схемы замещения

Тангенс угла диэлектрических потерь может быть рассчитан по известным R и C для любой из приведенных схем по следующим формулам:

– для параллельной схемы; (1)

– для последовательной схемы. (2)

В этих формулах – угловая частота, а f – частота приложенного напряжения.

В соответствии с этими формулами график зависимости от f имеет вид гиперболы для параллельной схемы и прямой линии для последовательной (рис. 2).

Схемы замещения используются в радиоизмерительной технике при измерениях емкости и диэлектрических потерь конденсаторных структур на радиочастотах. Если выбранная схема замещения адекватно отражает частотную характеристику потерь в структуре, то зависимость от частоты имеет точно такой же вид, как одна из приведенных на рис. 2 кривых, а измеренная емкость не зависит от частоты. В противном случае обнаруживается частотная зависимость емкости, которая, зависит от

f f

а б

Рис. 2. Частотная зависимость тангенса диэлектрических потерь для: параллельной – а и последовательной – б схем

выбранной схемы замещения. Частотная зависимость в этом случае отличается от приведенных выше. Однако во всех случаях зависимость от частоты является истинной, независимо от схемы замещения.

Процессы, протекающие в диэлектрических материалах во время поляризации последних, сложны и простейшие схемы замещения, как правило, их не отражают в полной мере.

Мишень для распыления тантала | AMERICAN ELEMENTS®


РАЗДЕЛ 1. ИДЕНТИФИКАЦИЯ. ТА-М-02-СТ , ТА-М-025-СТ , ТА-М-03-СТ , ТА-М-035-СТ , ТА-М-04-СТ , TA-M-05-ST

Номер CAS: 7440-25-7

Соответствующие установленные области применения вещества: Научные исследования и разработки

Подробная информация о поставщике:
American Elements
10884 Weyburn Ave.
Los Angeles, CA

Тел.: +1 310-208-0551
Факс: +1 310-208-0351

7 090 Телефон службы экстренной помощи 2: 40008

9000 , Северная Америка: +1 800-424-9300
Международный: +1 703-527-3887


РАЗДЕЛ 2.

ИДЕНТИФИКАЦИЯ ОПАСНОСТИ

Классификация вещества или смеси
Классификация в соответствии с Регламентом (ЕС) № 1272/2008
Вещество не классифицируется как опасное для здоровья или окружающей среды согласно регламенту CLP.
Классификация в соответствии с Директивой 67/548/ЕЭС или Директивой 1999/45/ЕС
Н/Д
Информация об особых опасностях для человека и окружающей среды:
Нет данных
Опасности, не классифицированные иначе
Нет данных
Элементы маркировки
Маркировка в соответствии с Регламентом (ЕС) № 1272/2008
Н/Д
Пиктограммы опасности
Н/Д
Сигнальное слово
Н/Д
Указания на опасность
Н/Д
Классификация WHMIS
Не контролируется
Система классификации
Рейтинги HMIS (шкала 0–4)
(Система идентификации опасных материалов)
ЗДОРОВЬЕ
ПОЖАР
РЕАКЦИОННАЯ СПОСОБНОСТЬ



Здоровье (острые воздействия) = 0
Воспламеняемость = 0 9 0
Физические опасности Результаты оценки PBT и vPvB
PBT:
N/A
vPvB:
N/A


РАЗДЕЛ 3.

СОСТАВ/ИНФОРМАЦИЯ О КОМПОНЕНТАХ

Вещества
CAS No. номер(а):
Номер ЕС:
231-135-5


РАЗДЕЛ 4. МЕРЫ ПЕРВОЙ ПОМОЩИ

Описание мер первой помощи
Общая информация
Никаких специальных мер не требуется.
При вдыхании:
В случае жалоб обратиться за медицинской помощью.
При попадании на кожу:
Обычно продукт не раздражает кожу.
При попадании в глаза:
Промыть открытые глаза в течение нескольких минут под проточной водой. Если симптомы сохраняются, обратитесь к врачу.
При проглатывании:
Если симптомы сохраняются, обратитесь к врачу.
Информация для врача
Наиболее важные симптомы и эффекты, как немедленные, так и замедленные
Нет данных
Указание на необходимость немедленной медицинской помощи и специального лечения
Нет данных


РАЗДЕЛ 5. МЕРЫ ПОЖАРОТУШЕНИЯ

Средства пожаротушения
Подходящие средства пожаротушения
Специальный порошок для сжигания металлов. Не используйте воду.
Неподходящие огнетушащие вещества из соображений безопасности
Вода
Особые опасности, создаваемые веществом или смесью
При пожаре могут выделяться следующие вещества:
Оксиды титана
Рекомендации для пожарных
Защитное снаряжение:
Никаких особых мер не требуется.


РАЗДЕЛ 6. МЕРЫ ПРИ СЛУЧАЙНОМ ВЫБРОСЕ

Индивидуальные меры предосторожности, защитное снаряжение и чрезвычайные меры
Не требуется.
Меры предосторожности по охране окружающей среды:
Не допускать попадания материала в окружающую среду без официального разрешения.
Не допускать попадания продукта в канализацию, канализационные системы или другие водотоки.
Не допускайте проникновения материала в землю или почву.
Методы и материалы для локализации и очистки:
Собрать механически
Предотвращение вторичных опасностей:
Никаких специальных мер не требуется.
Ссылка на другие разделы
См. Раздел 7 для информации о безопасном обращении
См. Раздел 8 для информации о средствах индивидуальной защиты.
Информацию об утилизации см. в Разделе 13.


РАЗДЕЛ 7. ОБРАЩЕНИЕ И ХРАНЕНИЕ

Обращение
Меры предосторожности для безопасного обращения
Держите контейнер плотно закрытым.
Хранить в прохладном, сухом месте в плотно закрытой таре.
Информация о защите от взрывов и пожаров:
Никаких специальных мер не требуется.
Условия безопасного хранения, включая любые несовместимости
Требования, которым должны соответствовать складские помещения и емкости:
Особых требований нет.
Сведения о хранении в одном общем хранилище:
Не требуется.
Дополнительная информация об условиях хранения:
Хранить контейнер плотно закрытым.
Хранить в прохладном сухом месте в хорошо закрытых контейнерах.
Особое конечное использование
Данные отсутствуют


РАЗДЕЛ 8. КОНТРОЛЬ ВОЗДЕЙСТВИЯ/СРЕДСТВА ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ

Дополнительная информация о конструкции технических систем:
Нет дополнительных данных; см. раздел 7.
Параметры управления
Компоненты с предельными значениями, требующими контроля на рабочем месте:
7440-25-7 Тантал (100,0%)
PEL (США) Долгосрочное значение: 5 мг/м 3
металл
REL (США) Краткосрочное значение: 10 мг/м 3
Долгосрочное значение: 10 мг/м
временное значение: 5 мг/м 3
Металл
TLV (США) металл; TLV отозван из-за недостаточности данных
EL (Канада) Долгосрочное значение: 5 мг/м 3
металл
EV (Канада) Долговременное значение: 10 мг/м 3
металл и оксид (общая пыль)
Дополнительная информация: нет данных
Контроль экспозиции
Средства индивидуальной защиты
Соблюдайте стандартные меры защиты и гигиены при обращении с химическими веществами.
Поддерживайте эргономически подходящую рабочую среду.
Дыхательное оборудование: Не требуется.
Защита рук: Не требуется.
Время проницаемости материала перчаток (в минутах)
Данные отсутствуют
Защита глаз: Защитные очки
Защита тела: Защитная рабочая одежда


РАЗДЕЛ 9.

ФИЗИЧЕСКИЕ И ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

Информация об основных физических и химических свойствах
Внешний вид:
Форма: Твердое вещество в различных формах
Цвет: От серого до серебристого
Запах: Без запаха
Порог восприятия запаха: Данные отсутствуют.
pH: неприменимо
Точка плавления/диапазон плавления: 2996 °C (5425 °F)
Точка/диапазон кипения: 5429 °C (9804 °F) газ)
Нет данных.
Температура воспламенения: Данные отсутствуют.
Температура разложения: Данные отсутствуют.
Самовоспламенение: Данные отсутствуют.
Опасность взрыва: Данные отсутствуют.
Пределы взрываемости:
Нижний: Данные отсутствуют
Верхний: Данные отсутствуют
Давление паров: Н/Д
Плотность при 20 °C (68 °F): 16,69 г/см 3 (139,278 фунтов/галлон)
Относительный плотность
Нет данных.
Плотность паров
Н/Д
Скорость испарения
Н/Д
Растворимость в воде (H 2 O): Не растворим
Коэффициент распределения (н-октанол/вода): Данные отсутствуют.
Вязкость:
Динамика: Н/Д
Кинематика: N/A
Прочая информация
Данные отсутствуют


РАЗДЕЛ 10. СТАБИЛЬНОСТЬ И РЕАКЦИОННАЯ СПОСОБНОСТЬ

Реакционная способность
Данные отсутствуют
Химическая стабильность
Стабилен при соблюдении рекомендуемых условий хранения.
Термическое разложение / условия, которых следует избегать:
Разложение не происходит, если используется и хранится в соответствии со спецификациями.
Возможность опасных реакций
Опасные реакции неизвестны
Условия, которых следует избегать
Нет доступных данных
Несовместимые материалы:
Нет данных
Опасные продукты разложения:
Оксиды титана


РАЗДЕЛ 11. ТОКСИКОЛОГИЧЕСКАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Информация о токсикологическом воздействии
Острая токсичность:
Реестр токсических эффектов химических веществ (RTEC) для этого вещества.
Значения LD/LC50, важные для классификации:
Нет данных
Раздражение или коррозия кожи:
Нет раздражающего действия.
Раздражение или коррозия глаз:
Нет раздражающего действия.
Сенсибилизация:
Сенсибилизирующие эффекты неизвестны.
Мутагенность зародышевых клеток:
Эффекты неизвестны.
Канцерогенность:
Данные по классификации канцерогенных свойств этого материала от EPA, IARC, NTP, OSHA или ACGIH отсутствуют.
Реестр токсических эффектов химических веществ (RTECS) содержит данные об онкогенности, и/или канцерогенности, и/или новообразованиях для этого вещества.
Репродуктивная токсичность:
Воздействие не известно.
Специфическая токсичность системы органов-мишеней – многократное воздействие:
Эффекты неизвестны.
Специфическая токсичность для системы органов-мишеней – однократное воздействие:
Эффекты неизвестны.
Опасность при вдыхании:
Эффекты неизвестны.
От подострой до хронической токсичности:
Эффекты неизвестны.
Дополнительная токсикологическая информация:
Насколько нам известно, острая и хроническая токсичность этого вещества полностью не известна.


РАЗДЕЛ 12. ЭКОЛОГИЧЕСКАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Токсичность
Акватоксичность:
Нет данных
Стойкость и способность к разложению
Нет данных
Биоаккумулятивный потенциал
Нет данных
Подвижность в почве
Нет данных
Дополнительная экологическая информация:
Не допускать попадания материала в окружающую среду без официального разрешения.
Не допускайте попадания неразбавленного продукта или больших количеств в грунтовые воды, водотоки или канализационные системы.
Избегайте попадания в окружающую среду.
Результаты оценки PBT и vPvB
PBT:
Н/Д
vPvB:
Н/Д
Другие побочные эффекты
Данные отсутствуют


РАЗДЕЛ 13. СООБРАЖЕНИЯ ПО УТИЛИЗАЦИИ

Методы обработки отходов
Рекомендация
Обратитесь к официальным правилам для обеспечения надлежащей утилизации.
Неочищенная упаковка:
Рекомендация:
Утилизация должна производиться в соответствии с официальными правилами.


РАЗДЕЛ 14. ИНФОРМАЦИЯ О ТРАНСПОРТИРОВКЕ

Номер ООН
DOT, ADN, IMDG, IATA
N/A
Собственное отгрузочное наименование ООН
DOT, ADN, IMDG, IATA
N/A
Класс(ы) опасности при транспортировке
DOT, ADR, ADN, IMDG, IATA
Class
N/A
Группа упаковки
DOT, IMDG, IATA
N/A
Опасность для окружающей среды: N/A
Особые меры предосторожности для пользователя
N/A


РАЗДЕЛ 15. НОРМАТИВНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Правила безопасности, охраны труда и окружающей среды вещество или смесь
Национальные правила
Все компоненты этого продукта перечислены в Реестре химических веществ Агентства по охране окружающей среды США.
Все компоненты этого продукта перечислены в Канадском перечне веществ для внутреннего потребления (DSL).
Раздел 313 SARA (списки конкретных токсичных химических веществ)
Вещество не указано в списке.
Предложение 65 штата Калифорния
Предложение 65 — Химические вещества, вызывающие рак
Вещество не указано в списке.
Prop 65 – Токсичность развития
Вещество не указано.
Prop 65 – Токсичность для развития, женщины
Вещество не указано.
Prop 65 – Токсичность для развития, мужчины
Вещество не указано.
Информация об ограничении использования:
Только для использования технически квалифицированными лицами.
Прочие правила, ограничения и запретительные положения
Вещество, вызывающее особую озабоченность (SVHC) в соответствии с Регламентом REACH (ЕС) № 1907/2006.
Вещество не указано.
Условия ограничений согласно Статье 67 и Приложению XVII Регламента (ЕС) № 1907/2006 (REACH) в отношении производства, размещения на рынке и использования.
Вещество не указано.
Приложение XIV Регламента REACH (требуется разрешение на использование)
Вещество не указано.
REACH – Предварительно зарегистрированные вещества
Вещество внесено в список


РАЗДЕЛ 16. ПРОЧАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Паспорт безопасности в соответствии с Регламентом (ЕС) № 1907/2006 (REACH). Приведенная выше информация считается верной, но не претендует на полноту и должна использоваться только в качестве руководства. Информация в этом документе основана на современном уровне наших знаний и применима к продукту с учетом соответствующих мер предосторожности. Это не является гарантией свойств продукта. American Elements не несет ответственности за любой ущерб, возникший в результате обращения или контакта с вышеуказанным продуктом. Дополнительные условия продажи см. на обратной стороне счета-фактуры или упаковочного листа. АВТОРСКОЕ ПРАВО 1997-2022 АМЕРИКАНСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ. ПРЕДОСТАВЛЯЕТСЯ ЛИЦЕНЗИЯ НА ИЗГОТОВЛЕНИЕ НЕОГРАНИЧЕННОГО БУМАЖНОГО КОПИЯ ТОЛЬКО ДЛЯ ВНУТРЕННЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ.

Мишень для распыления тантала (Ta Target)

Мишень для распыления тантала Описание

Мишень для распыления тантала используется в интегральных схемах и жидкокристаллических дисплеях на тонкопленочных транзисторах (TFT-LCD). SAM специализируется на производстве мишеней для распыления высокой чистоты с максимально возможной плотностью и наименьшим возможным средним размером зерна.

Тантал — редкий, твердый, голубовато-серый, блестящий переходный металл, обладающий высокой коррозионной стойкостью. Он входит в группу тугоплавких металлов, которые широко используются в качестве второстепенных компонентов в сплавах. Химическая инертность тантала делает его ценным веществом для лабораторного оборудования и заменителем платины.

Спецификация мишени для распыления тантала

Тип материала Тантал
Символ Та
Цвет/Внешний вид Серо-голубой, металлик
Теплопроводность 57 Вт/м.К
Точка плавления 3,017°С
Коэффициент теплового расширения 6,3 х 10-6/К
Распылитель DC
Тип облигации Индий, эластомер
Комментарии Образует хорошие пленки
Доступные размеры Диаметр: 1,0″, 2,0″, 3,0″, 4,0″, 5,0″, 6,0″
Толщина: 0,125″, 0,250″

Мы также предлагаем другие индивидуальные формы и размеры мишеней для распыления. Отправьте нам запрос для получения дополнительной информации.

Целевое применение для напыления тантала

Высокоэффективные материалы для напыления тантала используются для нанесения тонкопленочных покрытий, компакт-дисков, декоративных покрытий, плоских дисплеев, функциональных покрытий, а также других оптических информационных хранилищ, промышленности по нанесению покрытий на стекло, таких как автомобили. стекло и архитектурное стекло, оптическая связь и т. д.

Конденсаторы

Около половины ежегодно потребляемого тантала используется в электронной промышленности, в основном в виде порошка и проволоки для конденсаторов. Танталовый конденсатор используется в чувствительных к пространству высокотехнологичных приложениях в области телекоммуникаций, хранения данных и имплантируемых медицинских устройств.

Полупроводники

С помощью процесса физического осаждения из паровой фазы (PVD) мишень для распыления тантала «напыляется» на полупроводниковые подложки для формирования тонкопленочного диффузионного барьера для защиты медных межсоединений. Мишени для распыления тантала используются во многих других продуктах, включая магнитные носители информации, головки струйных принтеров и плоские дисплеи.

Лопасти турбины двигателя

Высокая температура плавления и коррозионная стойкость металла делают его пригодным для легирования. Тантал используется в суперсплавах на основе никеля, где в основном используются лопатки турбин для авиационных двигателей и газовых турбин наземного базирования.

Оборудование для химической обработки

Высокая устойчивость тантала к коррозии и высоким температурам делает этот металл идеальным конструкционным материалом для облицовки сосудов, трубопроводов, клапанов и теплообменников в химической и фармацевтической промышленности.

Мишень для распыления тантала Склеивание мишеней

Служба склеивания индия и эластомерных мишеней доступна для мишеней для напыления Та . Stanford Advanced Materials занимается обработкой стандартных опорных пластин и сотрудничает с Taiwan Bonding Company для предоставления услуг по склеиванию. Если у вас есть вопросы о материалах, методах и услугах для целевого связывания, нажмите здесь.

Упаковка мишеней для распыления тантала

Наши мишени для распыления тантала тщательно обрабатываются, чтобы предотвратить повреждение во время хранения и транспортировки и сохранить качество нашей продукции в ее первоначальном состоянии.

Получить контакт

Тантал высокой чистоты Мишень для распыления доступна в различных формах, размерах и ценах. Мы специализируемся на производстве тонкопленочных материалов покрытия высокой чистоты с максимально возможной плотностью и наименьшим возможным средним размером зерна для использования в полупроводниках, химическом осаждении из паровой фазы (CVD) и физическом осаждении из паровой фазы (PVD), дисплеях и оптических приложениях. Отправьте нам запрос, чтобы узнать текущие цены на мишени для распыления и другие материалы для осаждения, не указанные в списке.

Submit your review

  Check this box to confirm you are human.

Отправить

     

Отменить

Создайте свой отзыв0008

 2 отзыва

31 января 2020 г.

Ларри Томсон о мишени для распыления тантала (Ta)

Это вторая покупка. Как обычно.

13 марта 2019 г.

Джон А. на мишени для распыления тантала (Ta)

Как рекламируется на картинке. Выглядит немного меньше, чем на картинке, но это слиток тантала, который мне нужен, и мне все равно, как он выглядит, поэтому я полностью доволен, и цена показалась хорошей.

Мишени для напыления тантала (Ta)

Тантал

можно использовать для покрытия FE-SEM с высоким разрешением, и, как и большинство тугоплавких и тугоплавких материалов, он дает мелкое напыление. Тантал похож на хром тем, что довольно быстро окисляется. У него низкая скорость распыления, но из-за его высокого атомного номера выход SE обычно выше. Из-за проблем с окислением образцы необходимо визуализировать сразу после нанесения покрытия или хранить в высоком вакууме.

Тантал является окисляющимся металлом и, как и в случае с хромом, требует установки для напыления в высоком вакууме, оснащенной автоматическим затвором источника. Рекомендуется использовать высоковакуумную установку для нанесения покрытий Safematic CCU-010 HV.

Обратите внимание: несмотря на то, что мы предлагаем очень конкурентоспособные цены на все мишени для распыления, наши цены время от времени меняются из-за колебаний рыночных цен на металлы. По этой причине мы не отображаем цены онлайн, но просим Вас связаться с нами для получения коммерческого предложения.

Производитель

Модели

Диаметр (Ø) мм

60

57

54

50

24

19

Агар научный

Ручная/автоматическая установка для нанесения покрытий

 

х

 

 

 

 

Бал-Тек

Установки для нанесения покрытий SCD 005, 040, 050, 500, MED 010, MED 020

 

 

х

 

 

 

Био-Рад

Автоматическая установка для нанесения покрытий SC5200, мини-установка для нанесения покрытий SC502

 

х

 

 

 

 

Крессингтон

108 ручной, 108автоматический, 108автоматический, SE 208HR Устройство для нанесения покрытий методом напыления

 

х

 

 

 

 

Дентон

Настольные II, III, IV, V установки для нанесения покрытий методом распыления

х

 

 

 

 

 

Эдвардс

150B, установка для напыления Scancoat

х

 

 

 

 

 

Эмитек

Установки для напыления SC7620, SC7610, K575X, Q150

 

х

 

 

 

 

K500X, K550X, K650X Установки для напыления.

Примечание: эти мишени установлены на держателях – для получения подробной информации свяжитесь с нами

х

 

 

 

 

 

K575XD, K675X, K675XD Установки для нанесения покрытий с турбонасосом

 

 

х

 

 

 

СЭМ

150R, 300R, SC7620 Установки для напыления

 

х

 

 

 

 

Гатан

681, 682 PECS, 685 PECS II Ионно-лучевые установки для нанесения покрытий

 

 

 

 

 

х

ХВВ Лтд

Установки для напыления BT150, BT300

 

 

Х

 

 

 

ДЖЕОЛ

Установки для нанесения покрытий JFC-1200, 1300, 1400, 1600, JFC-2300HR

 

х

 

 

 

 

Лейка

ACE 200, ACE 600, EM SCD 005, 050, 500 EM,MED 020 Установки для напыления

 

 

х

 

 

 

Поларон, Био-Рад, Фисонс, ВГ, Термо

PS3, E5000, E5200, E5400, 5800, SC7610, SC502, SC7620 роторные насосные установки для нанесения покрытий

 

х

 

 

 

 

Кворум

Q150R, Q150T, SC7620, Q300R, Q300T Установки для напыления

 

х

 

 

 

 

Кворум, Био-рад, ВГ, Термо

Системы подготовки крио-СЭМ E7400, LT7400, PP2000, PP3000, PP3010T

 

 

 

 

х

 

Сейфматик

CCU-010 HV, CCU-010 LV Установки для напыления

 

 

х

 

 

 

Расходные материалы SPI

SPI Модульная установка для нанесения покрытий методом распыления

 

х

 

 

 

 

Устройство для нанесения покрытий методом суперраспыления SPI

 

 

 

х

 

 

70-TA1960

Мишень для распыления тантала, диск диаметром 19 x 1,5 мм, 99,95 % Ta

Кол-во

Добавить в предложение

P. O.A.

Танталовая мишень для напыления, диск Ø19 x 1,5 мм, 99,95 % Ta

70-TA3899

Мишень для распыления тантала, диам. Диск 38 x 3,2 мм, Ta 99,95 %

Кол-во

Добавить в предложение

P.O.A.

Мишень для нанесения покрытий из тантала, диам. Диски 38 x 3,2 мм, 99,95 % Ta (каждый)

70-ТА5410

Танталовая мишень для напыления, диск диаметром 54 x 0,20 мм, 99,95 % Ta

Кол-во

Добавить в предложение

P.O.A.

Мишень для нанесения покрытий из тантала, диам. Диск 54 x 0,20 мм, 99,95 % Ta (каждый)

70-TA5710

Мишень для распыления тантала, диам.

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *