Станок где: Фрезерный станок c ЧПУ Start 1510

alexxlab | 02.07.2023 | 0 | Разное

Содержание

Фрезерный станок c ЧПУ Start 1510

Технические характеристики портала

Портал	– конструкционный алюминиевый профиль – стальные пластины,
Стол	– конструкционный алюминиевый профиль – лист МДФ
Привод	– шаговые двигатели
Передачи	– ременная передача X, Y – винтовая Z
Скорость перемещения	– по оси Х, Y 12000 мм/мин. – по оси Z 600 мм/мин.
Электрическая часть	– буксируемые гибкие кабель-каналы – сигнальный кабель
Подключение порт	– USB порт
Питание	– 220 В/ 50 Гц
Точность позиционирования	+/- 0.2 мм
Формат совместимых файлов	G — код, nc, ncc, ngc, tap, txt

Технические параметры шпинделя

Шпиндель	А (Start 1510 база)
Тип охлаждения	воздушное охлаждение
Частота вращения	30000 об. /мин.
Цанга	Ø 6, 4, 3.175
Мощность	540 Вт
Питание	220 В

🔥 Трех осевой фрезерный станок с ЧПУ «Start 1510» 🔥 c рабочим полем 1500х1000х80 мм., для работы с древесиной различных пород, фанерой, ДСП\ЛДСП, МДФ, пластиком, акрилом, орг. стеклом, ПВХ и другим схожим по твердости материалом. Возможно использовать как для двухмерной резки различных форм, так и для сложных трехмерных объемных изделий. Станок новый, поставляется собранным, прошедшим все необходимые испытания и контроль качества. Собственное производство, гарантия 12 месяцев 🤝

Фрезерный станок с ЧПУ линейки Start отлично подойдет для начинающих пользователей не имеющих опыта работы с ЧПУ и желающих в кротчайшие сроки освоить работу на станке. Так же станок подходит для действующих производств планирующих снизить нагрузку на мощное штатное оборудование путем выполнения простых работ на станках с меньшими энергозатратами. Станок прост в работе, надёжен и универсален в своём классе. 👍

Дополнительно возможна установка лазерного гравера мощностью от 2.5 до 15 Вт. Лазерный гравер предназначен для нанесения изображений на поверхность из дерева, бумаги, кожи и схожих материалов.

Срок изготовления от 7 до 21 рабочего дня.

🚚 Доставка в любой регион страны транспортными компаниями ПЭК, DPD, Деловые Линии, Энергия, и т.д.

Приобретая у нас фрезерный станок с ЧПУ вы получаете:

✅ Полностью готовый к работе станок!
✅ Программное обеспечение на русском языке!
✅ Обучение работе на станке!
✅ Собственную библиотеку готовых работ!
✅ Пожизненную техническую поддержку!
✅ Бизнес-план для уверенного продвижения!
✅ Готовые идеи и проекты для развития собственного производства!

👨‍🎓 Комплект Start позволяет каждому пользователю в кратчайшие сроки освоить безопасные методы и приемы работы на фрезерных станках с ЧПУ, получить основы программирования станков с ЧПУ и работы в CAD системах, уйти от монотонного ручного труда, увеличить количество и качество выпускаемой продукции.

Фрезерный станок с ЧПУ WATTSAN 0609 MINI. Выгодные условия. СКИДКИ. РАССРОЧКА. Сервис. Гарантия.

В связи с регулярным обновлением модельного ряда, станки могут отличаться от представленных на сайте

Фрезерный станок с ЧПУ Wattsan 0609 MINI

Рабочее поле: 600×900 мм
Мощность шпинделя: 1.5 кВт
Цанговый патрон: ER-11
Скорость передвижения портала: 15000 мм/мин

Все характеристики

Дополнительная комплектация

DSP-контроллер RichAuto A11: Цена по запросу
Датчик высоты инструмента: Цена по запросу

Весь перечень комплектации

Цена

под заказ
из наличия

~~311 000 ₽~~

304 000 ₽ под заказ

332 000 ₽

Описание Wattsan 0609 MINI

Рабочее поле: 600×900 мм

Настольный фрезерный станок для обработки материалов небольшой площади. Идеально подходит для быстрого запуска производства. Несмотря на то, что модель относится к младшей серии фрезерных станков с ЧПУ, с ее помощью на высочайшем уровне решаются непростые производственные задачи.

БЕЗГРАНИЧНОЕ ТВОРЧЕСТВО

Ваше хобби выйдет на новый уровень, и превратится в бизнес. От собственного производства изделий, до мастер-классов в коворкингах и обучения в школах.

Wattsan 0609 MINI отлично подойдет для выполнения экспресс-заказов.

Станок вдохновляет на создание произведения искусства.

Европейское качество по доступной цене

Описание преимуществ Wattsan 0609 MINI

Самый популярный ЧПУ фрезер

«Этот фрезерный станок — сердце нашего производства, от него мы строим все свои производственные процессы, потому что он работает четко, по времени, и надо придерживаться его ритма».

«Мы его взяли как только открыли мастерскую, даже не определившись что именно будем на нем делать. Сначала мы пользовались им просто для хобби, а потом поняли, что это один из главных станков для производства и загрузили его на столько, что на данный момент он работает с 8-00 до 22-00 вечера».

Анастасия БОРЩ TV

Преимущества Wattsan 0609 MINI

Продвинутый DSP-контроллер

По вашему желанию мы установим
DSP-контроллер RichAuto A11.

Обеспечивает работу с фрезерным станком без компьютера.

От базового контроллера отличается:

более высокой степенью надежности,
увеличенным объемом памяти,
повышенной производительностью,
большим функционалом.

Отдельные преимущества Wattsan 0609 MINI

Непоколебимая прочность

Wattsan 0609 MINI

В процессе эксплуатации металлоконструкции станков подвергаются различным нагрузкам: статическим, динамическим, циклическим. Также на них оказывают воздействие перепады температур. Чтобы обеспечить высокую эксплуатационную надежность, необходимо упрочнить структуру материала. Для этого используют термообработку.

Стержень станка

Шпиндель

На станке Wattsan 0609 MINI в стандартной комплектации установлен шпиндель 1,5 кВт.

Станок сконструирован с запасом прочности для установки шпинделей больших мощностей. Можно установить шпиндель
мощностью 2,2 кВт.
Шарико-винтовая пара

По оси Z реализована шарико-винтовая пара с запасом по ширине и жесткости, что позволяет модифицировать мощность шпинделя.

Высота подъема шпинделя по оси Z — 10 cм

Установите шпиндель мощностью 2. 2 кВт и ускорьте производство на 30%

Отдельные преимущества Wattsan 0609 MINI

Фрезеровка роботом
Направляющие
Защита от повреждений

Фрезеровка роботом

Wattsan 0609 MINI

Отверстия под направляющие

В станках Wattsan направляющие под косозубые рейки и отверстия для крепления линейных направляющих фрезеруются на высокоточном фрезерном оборудовании с автосменой инструмента.

Ручная фрезеровка увеличивает риск деформации рельсовых направляющих.

Направляющие

Wattsan 0609 MINI

HIWIN

Станки Wattsan оборудуются направляющими HIWIN. Они отличаются своим качеством и надежностью, в отличие от аналогов.

Фрезеровка площадок под направляющие выполняется роботом, что гарантирует исключительную точность и надежность.

Рельса и каретка

Рельса. Четыре замкнутых ряда подшипников на 30% превосходят аналогичные конструкции по грузоподъемности и жесткости.

Каретка. Благодаря размещению подшипников, между рельсами и кареткой достигается предельно точное линейное перемещение.

Защита от повреждений

Wattsan 0609 MINI

Каждый элемент станка продуман до мелочей

Демонстрация наших станков в более 50 городах России или Online

Подберем оборудование для вашей задачи с учетом всех тонкостей.
80% клиентов выбирали оборудование благодаря нашей консультации.

Демо-залы
Выставки
Онлайн
У клиентов

Укажите телефон

Характеристики

Wattsan 0609 MINI

Габариты

Вес: 140 кг
Рабочее поле: 600×900 мм
Габариты (ДхШхВ): 915х1210х740 мм

Механика

Точность позиционирования: 0. 02 мм
Ширина направляющих: HIWIN 20 мм
Количество осей: 3
Скорость передвижения портала: 15000 мм/мин
Высота подъема шпинделя по оси Z: 100 мм
Шаговые двигатели: двухфазные

Станина

Станина: Цельнолитая чугунная

ПО

Тип подключения: DSUB / USB

Шпиндель

Охлаждение шпинделя: Водяное
Скорость вращения шпинделя: 24000 об/мин
Мощность шпинделя: 1. 5 кВт
Цанговый патрон: ER-11

Комплектация

Паспорт станка: 1 шт
Водяная помпа: 1 шт
Фрезерный станок: 1 шт
Блок управления: 1 шт
Система управления: 1 комплект
Набор фрез: 1 комплект
Цанги: 1 комплект
Прижимы: 4 шт
Гаечные ключи: 2 шт

Поможем подобрать станок

Ваше имя

Ваш телефон *

нажав на кнопку вы даете согласие на обработку персональных данных

Дополнительная комплектация

Wattsan 0609 MINI

Стабилизатор напряжения: Цена по запросу
Шпиндель 2,2 кВт: Цена по запросу
Чиллер S&A СW-3000: Цена по запросу
Система удаления стружки (аспирация) JET DC-900A: Цена по запросу
Щетка аспирации: Цена по запросу
Гибкий воздуховод аспирации: Цена по запросу

Порядок покупки

Выбор оборудования

Вы вместе с нашим специалистом выбираете оборудование и обсуждаете комплектацию станка.
Заключение договора

Согласовываем комплектацию станка и рассчитываем конечную стоимость оборудования.
Оплата

Если вы покупаете оборудование со склада, то вносите 100% оплату. Если берёте «под заказ», то вносите аванс 50%, а остаток после поступления станка на склад.
Трёхэтапная проверка качества

Оборудование проходит 3-х этапную проверку качества, сначала на заводе изготовителя в Китае, потом при поступлении на склад в России, и, наконец, перед отгрузкой в транспортную компанию.
Доставка или самовывоз

Доставляем все в любую точку России. Гарантируем лучшую стоимость доставки по всей РФ и СНГ!
Пусконаладочные работы. В процесс…

Сервис

В процессе проведения пусконаладочных работ, оборудование распаковывается, устанавливается, инженер устанавливает ПО, проверяется работоспособность станка.

Часто задаваемые вопросы

Да, мы предлагаем нашим клиентам профессиональное сервисное обслуживание всего приобретенного у нас оборудования. Для вас наши цены на эти услуги будут ниже рыночных. Гарантируем.
В принципе фрезеровать можно любой металл, даже углеродистую сталь, все зависит от фрезы и мощности шпинделя. Если на примере углеродистой, то можно снимать по 0,1 мм и это займет много времени.

Если мы говорим о раскрое и фрезеровке, то тут уже имеются ввиду мягкие металлы, такие как:
- алюминий,
- латунь,
- медь.
Конечная цена доставки рассчитывается индивидуально, в зависимости от адреса.
Обратитесь ко мне и я помогу с примерной стоимостью. Узнать о времени доставки можно тут.
Основной причиной поломок наших станков является непрофессиональный подход. Да и то в этом случае зачастую из строя выходят расходные материалы или механизмы, которые вы всегда можете у нас приобрести.
По вопросам правильного обращения с нашими фрезерными станками вы можете писать или звонить в нашу службу технической поддержки по единому телефону: +7 (800) 777-17-87
org/Question”>
Мы даем гарантию 12 месяцев, но под нее не попадают расходные материалы.
По опыту можем сказать, что при грамотной эксплуатации станок прослужит дольше гарантийного срока в несколько раз.

Поможем подобрать станок

Ваше имя

Ваш телефон *

нажав на кнопку вы даете согласие на обработку персональных данных

Машина, которая изменила мир

Джеймс (Джим) Вомак, доктор философии, Дэн Джонс и Дэниел Роос

$17,00

компании «Дженерал Моторс». Сегодня Toyota опережает GM как крупнейший в мире производитель автомобилей и является самым успешным глобальным предприятием за последние пятьдесят лет. Эта классическая книга по менеджменту стала первой книгой, раскрывающей систему бережливого производства Toyota, которая является основой ее непреходящего успеха.

Скидки на оптовую покупку предоставляются только коммерческим и образовательным организациям, использующим книги для внутреннего обучения.

Посмотреть доступные скидки

Количество	Скидка
10 – 20	10% 15,30 $
21 – 40	15% $14,45
41 +	20% $13,60

Темы: Высшее руководство, Операции, Разработка продуктов и процессов

Обзор
Детали книги
Авторы)
Отзывы (0)

Когда книга «Машина, изменившая мир» была впервые опубликована в 1990 году, Toyota была вдвое меньше General Motors. Сегодня Toyota опережает GM как крупнейший в мире производитель автомобилей и является самым успешным глобальным предприятием за последние пятьдесят лет. Эта классическая книга по менеджменту стала первой книгой, раскрывающей систему бережливого производства Toyota, которая является основой ее непреходящего успеха.

Теперь переизданный с новым предисловием и послесловием, Machine противопоставляет две принципиально разные бизнес-системы — бережливое и массовое, два совершенно разных взгляда на то, как люди работают вместе для создания ценности. Основанная на крупнейшем и наиболее тщательном исследовании, когда-либо проводившемся в любой отрасли — пятилетней международной автомобильной программе Массачусетского технологического института с участием четырнадцати стран — эта книга описывает всю систему управления бережливым производством.

Почти двадцать лет назад Вомак, Джонс и Роос представили подробное описание всей системы бережливого производства. Они исчерпывающе задокументировали его преимущества по сравнению с моделью массового производства, впервые предложенной General Motors, и предсказали, что бережливое производство в конечном итоге восторжествует. Более того, они утверждали, что она восторжествует не только в производстве, но и во всех сферах деятельности по созданию стоимости, от здравоохранения до розничной торговли и распределения.

Сегодня Машина, изменившая мир представляет собой надежное и важное руководство для менеджеров и лидеров в каждой отрасли, стремящихся превратить традиционные предприятия в образцы успеха бережливого производства.

Издатель:Free Press

ISBN-13:9780743299794

ISBN-10:0743299795

SKU:9794

Дата публикации:09 апреля, 1990

Количество страниц: 352

Вес: 0,63 фунта

Размеры :8,500 × 5,500 × 0,750 дюйма

Только зарегистрированные клиенты, которые приобрели этот продукт, могут оставить отзыв.

Внутри машины, которая спасла Закон Мура

Патрик Уилан заглядывает через лицевую панель своего костюма кролика для чистых помещений, чтобы посмотреть, как идут дела.

Перед ним сверкающий кусок стекла размером примерно с тостер, на котором так много выемок, чтобы уменьшить его вес, что он выглядит как инопланетный тотем. Команда Уилана приклеивает его к большому куску алюминия размером с кофейный столик. И металл, и стекло удивительно гладкие, их полировали в течение нескольких недель, чтобы устранить мельчайшие дефекты. В течение следующих 24 часов, пока клей затвердевает, рабочие будут невротически следить за положением стекла и металла, чтобы убедиться, что они соединяются именно так.

«Они будут совмещены с точностью до микрона», — говорит мне Уилан, указывая на аппарат.

Ближайший техник беспокоится, что он слишком близко, и визжит: Назад!

«Я не трогаю! Я не прикасаюсь!» — смеется Уилан.

Точность здесь очень важна. Я нахожусь в Уилтоне, штат Коннектикут, в чистой комнате голландской компании ASML, которая производит самую сложную в мире машину для литографии — важнейшего процесса, используемого для создания транзисторов, проводов и других основных компонентов микросхем. Это желанное устройство, модели которого стоят до 180 миллионов долларов, используется для создания микрочипов размером до 13 нанометров в быстром темпе. Такой уровень точности имеет решающее значение, если вы представитель Intel или TSMC и хотите производить самые быстрые в мире передовые компьютерные процессоры. Последняя машина, собранная в штаб-квартире ASML в Нидерландах, имеет размер небольшого автобуса и состоит из 100 000 крошечных скоординированных механизмов, включая систему, которая генерирует высокоэнергетический ультрафиолетовый свет с определенной длиной волны, выбрасывая капли расплавленного олова с лазер 50000 раз в секунду. Чтобы отправить один покупателю, требуется четыре Боинга 747.

«Это очень сложная технология — по сложности она, вероятно, относится к категории Манхэттенского проекта», — говорит Сэм Сивакумар, директор Intel по литографии.

Здесь, в Уилтоне, особенно важен модуль из стекла и металла, который строят Уилан и его команда. Он будет нести шаблоны, необходимые для изготовления микрочипа, и будет свистеть туда-сюда, в то время как машина облучает его экстремальным ультрафиолетовым (EUV) светом, освещая различные части рисунка чипа. Затем свет падает на кремниевую пластину размером с обеденную тарелку, сжигая рисунок на месте.

Уилан подходит к видеомонитору, на котором видно, как одно из этих приспособлений из стекла и металла прыгает туда-сюда во время тестирования. Он весит 30 килограммов, но движется как в тумане.

«Он разгоняется быстрее, чем истребитель», — говорит Уилан, его коротко подстриженная борода и очки скрыты за снаряжением. «Если есть что-то незакрепленное, оно разлетится». Более того, говорит он, аппарат должен останавливаться в точке размером с нанометр — «так что у вас есть одна из самых быстрых вещей на земле, которая останавливается практически на самой маленькой точке».

Этот стеклянный зажим (черный прямоугольник, вверху в центре) используется для удержания масок, содержащих шаблоны чипов, которые необходимо перенести на пластину.

CHRISTOPHER PAYNE

Вид крупным планом на стеклянный зажим, используемый для удержания масок.

CHRISTOPHER PAYNE

Это сочетание скорости и точности является ключом к соблюдению закона Мура — наблюдения, согласно которому количество транзисторов, втиснутых в микрочип, удваивается примерно каждые два года по мере того, как компоненты становятся все меньше, что делает чипы более дешевыми и более мощными. Чем плотнее вы упаковываете транзисторы, тем быстрее электрические сигналы могут проходить по чипу. Начиная с 60-х годов производители чипов уменьшали размеры компонентов, переходя примерно каждые десять лет на новую форму света с меньшей длиной волны. Но к концу 90s производители застряли на 193-нм свете и горячо обсуждали, что делать дальше. Ситуация становилась все более и более плачевной. Производителям микросхем приходилось использовать все более сложные конструкции и методы, чтобы закон Мура продолжал действовать, но им удалось добиться еще двух десятилетий повышения производительности.

Затем, в 2017 году, ASML представила готовую к производству машину EUV, которая использует свет с длиной волны всего 13,5 нанометров. С такой короткой длиной волны производители чипов могут размещать транзисторы более плотно, чем когда-либо прежде. Процессоры могут быстрее обрабатывать числа, потреблять меньше энергии или просто становиться меньше. Первые поколения чипов с крошечными функциями EUV уже работают в крупных компаниях, таких как Google и Amazon, улучшая языковой перевод, результаты поисковых систем, распознавание фотографий и даже ИИ, который, как и GPT-3, говорит и пишет с устрашающим человеческим качество. Революция EUV также затрагивает повседневных потребителей, поскольку машины ASML используются для производства микросхем для продуктов, включая некоторые смартфоны Apple и Mac, процессоры AMD и телефон Samsung Note10+. Поскольку машины EUV становятся все более распространенными, это повысит производительность и снизит энергопотребление все более повседневных устройств. Технология EUV также обеспечивает более простые конструкции, что позволяет производителям чипов работать быстрее и производить больше чипов на пластину, что приводит к экономии средств, которую можно передать потребителям.

Успех EUV-литографии был далеко не гарантирован. Светом так чертовски сложно управлять, что многие годы эксперты предсказывали, что ASML никогда не поймет этого. Фактически, конкуренты ASML, Canon и Nikon, отказались от попыток много лет назад. Итак, у ASML теперь есть свое место на рынке: если вы хотите создавать самые передовые процессоры, вам нужна одна из его машин. ASML производит всего 55 штук в год, и они быстро продаются гигантам отрасли; в настоящее время установлено более 100.

«Закон Мура в основном разваливается, и без этой машины он исчезнет», — говорит Уэйн Лэм, директор по исследованиям в CCS Insight. «Вы не можете делать передовые процессоры без EUV».

Крайне редко одна фирма обладает монополией на такую ключевую часть производства микрочипов. Еще более поразительна кропотливая работа: ASML потребовалось 9 миллиардов долларов на исследования и разработки и 17 лет исследований, непрерывный поток экспериментов, настроек и «ага» прорывов. EUV теперь здесь — он работает. Но усилия и время, которые потребовались для того, чтобы это произошло, а также его позднее появление на сцене, вызывают некоторые неизбежные вопросы. Как долго EUV сможет поддерживать действие закона Мура? И что будет дальше?

ASML использует этого оранжевого робота, созданного KUKA Robotics, для перемещения тяжелых частей машин EUV по полу чистой комнаты.

КРИСТОФЕР ПЕЙН

Когда Джос Беншоп присоединился к ASML в 1997 году, он после долгой работы в компании Phillips быстро наткнулся на компанию по производству чипов, беспокоившуюся о своем будущем. За десятилетия инженеры по производству микросхем овладели искусством литографии. Концепция проста. Вы проектируете компоненты чипа — его провода и полупроводники — а затем вытравливаете их в серию «масок», примерно так же, как вы делаете трафарет, чтобы нанести рисунок на футболку. Затем вы кладете каждую маску на силиконовую пластину и пропускаете через нее свет (примерно эквивалентно распылению краски на трафарет). Свет укрепляет «резист», химический слой на поверхности пластины; затем другие химические вещества вытравливают этот узор на кремнии. В 60-х годах производители микросхем использовали для этого процесса видимый свет с длиной волны всего 400 нанометров. Затем они перешли на ультрафиолетовый свет с длиной волны 248 нм и постепенно уменьшили его до 19.3 нм — то, что часто называют глубоким УФ. Каждый такой переход продлевал действие закона Мура на несколько лет.

Но к концу 90-х они сфокусировали глубокое УФ-излучение так узко, как только могли, и не знали, как уменьшить его. Казалось, что нужен новый источник света. ASML в то время была небольшой фирмой из 300 человек, которая успешно продавала свои инструменты для глубокой УФ-литографии. Но они поняли, что для того, чтобы оставаться актуальными, им нужно провести серьезные исследования и разработки.

Беншоп — высокий, угловатый руководитель с буйной, но ироничной манерой поведения — был принят на работу в качестве первого научного сотрудника. Он начал посещать большие конференции, проводимые два раза в год, где глубокие мыслители из крупных фирм по производству чипов и правительственных учреждений гладили себя по подбородку и спорили о том, какую форму света использовать дальше.

«Кто будет следующим ребенком в квартале?» — так выразился Беншоп, когда мы говорили на Zoom прошлым летом. Эксперты обдумывали несколько вариантов, и все они имели огромные проблемы. Одна из идей заключалась в том, чтобы использовать ионный спрей для нанесения узоров на чипы; это сработало бы, но никто не мог придумать, как сделать это быстро в больших масштабах. То же самое было и со стрельбой пучками электронов. Некоторые выступали за использование рентгеновских лучей, которые имеют крошечную длину волны, но у них были свои проблемы. Последней идеей был экстремальный ультрафиолет с длиной волны до 13,5 нанометров, что довольно близко к рентгеновским лучам. Это выглядело хорошо.

Проблема заключалась в том, что для ЭУФ потребовалась бы совершенно новая форма литографической машины. В существующих использовались традиционные стеклянные линзы для фокусировки света на пластину. Но свет EUV поглощается стеклом; он останавливается мертвым. Если вы хотите сфокусировать его, вам придется разработать изогнутые зеркала, подобные тем, которые используются в космических телескопах. Хуже того, EUV поглощается даже воздухом, поэтому вам нужно сделать внутри вашей машины идеально герметичный вакуум. И вам нужно будет надежно генерировать EUV-свет; никто не знал, как это сделать.

Intel поработала над этой идеей, как и Министерство энергетики США. Но это были в основном лабораторные эксперименты. Чтобы создать жизнеспособную литографическую машину для изготовления чипов, вам необходимо разработать надежные методы, которые могли бы работать быстро и производить чипы в больших количествах.

После трех лет размышлений в 2000 году ASML решила рискнуть компанией и попытаться освоить EUV. Они были крошечной фирмой, но если бы им это удалось, они стали бы гигантами.

Нужно было решить столько инженерных задач, что , как вспоминает Беншоп, «у нас не было импульса сделать это самостоятельно». Поэтому руководители ASML начали обзванивать фирмы, производившие компоненты для существующих машин. Один раз позвонили в Zeiss, немецкую оптическую фирму, которая в течение многих лет производила стеклянные линзы для ASML.

У инженеров Zeiss был опыт работы с EUV, включая создание чрезвычайно точных линз и зеркал для рентгеновских телескопов. Хитрость заключалась в том, чтобы покрыть поверхность зеркал EUV чередующимися слоями кремния и молибдена, каждый толщиной всего в несколько нанометров. Вместе они создают рисунок, который отражает до 70% падающего на него ультрафиолетового света.

Проблема заключалась в том, как их отполировать. Машине потребовалось бы 11 зеркал, чтобы отражать свет EUV вокруг и фокусировать его на чипе, подобно 11 игрокам в пинг-понг, перебрасывающим мяч от одного к другому по направлению к цели. Поскольку целью было травление компонентов чипа, измеряемых в нанометрах, каждое зеркало должно было быть невероятно гладким. Малейший изъян сбил бы фотоны EUV с пути.

СЛЕВА: Эта полированная оптика является частью датчика энергии, который помогает контролировать интенсивность света внутри литографических машин. СПРАВА: детальный обзор полировального агрегата. Кусочки стекла, показанные здесь, установлены под углом для получения правильного скоса. Эти полировальные агрегаты используются для шлифовки компонентов, которые входят в машину ASML EUV. Некоторые оптические элементы, подобные показанному вверху слева, механически отполированы. Деталь может провести много недель в многоступенчатом процессе полировки, при этом технические специалисты проверяют гладкость с точностью до нанометра.

CHRISTOPHER PAYNE

Чтобы дать представление о масштабе, если вы возьмете зеркало в своей ванной и увеличите его до размеров Германии, на нем будут выпуклости около пяти метров высотой. Увеличенное до такого же размера самое гладкое зеркало EUV, которое когда-либо создавали инженеры Zeiss для космических телескопов, будет иметь выпуклости высотой всего два сантиметра. Эти зеркала для ASML должны были бы быть на порядки более гладкими: если бы они были размером с Германию, их самые большие дефекты могли бы быть меньше миллиметра в высоту. «Это действительно самые точные зеркала в мире», — говорит Петер Кюрц, ответственный за разработку следующего поколения оптики EUV в Zeiss.

Большая часть работы Цейсса будет заключаться в осмотре зеркал на наличие дефектов, а затем с помощью ионного луча сбивать отдельные молекулы, постепенно сглаживая поверхность в течение месяцев и месяцев работы.

Пока Zeiss разрабатывала зеркала, Benschop и другие поставщики ASML работали над другой важной задачей: как создать источник света, который будет производить постоянный поток EUV.

Это будет преследовать их годами.

Чтобы создать EUV, вам нужно создать плазму, привередливую фазу материи, которая существует только при чрезвычайно высоких температурах. После ранних экспериментов по уничтожению лития лазерными импульсами для получения EUV-света они переключились на олово, которое производило более мощные вспышки.

К началу 2000-х, работая с фирмой Cymer из Сан-Диего и немецкой лазерной фирмой Trumpf, ASML построила что-то вроде хитроумного устройства Руба Голдберга. Есть нагретый сосуд, который поддерживает олово в жидком состоянии. Он поступает в сопло, которое выпускает каплю расплавленного олова — «треть диаметра человеческого волоса», — говорит Дэнни Браун, вице-президент компании по техническому развитию, родившийся в Австралии, — в нижнюю часть машины, камеру. системы, отслеживающие его продвижение. Когда он достигает центра светоизлучающей камеры, лазерный импульс поражает каплю олова. Сгоревшее во взрыве, температура которого достигает около 500 000 К, олово образует плазму, которая светится ультрафиолетовым светом. Механизм повторяет этот процесс, стреляя и уничтожая капли олова 50 000 раз в секунду.

«Скажем так, это не прямолинейно», — сухо говорит Браун.

Хотя теперь они могли генерировать EUV свет, Браун и его команда быстро обнаружили новые проблемы. Ионы от взрывов олова забьют оптику. Они поняли, что для очистки можно закачать водород в световую камеру, где он вступит в реакцию с ионами олова и поможет удалить их.

Но они быстро отставали от графика. Benschop изначально предсказал, что к 2006 году они будут иметь машины EUV «в большом количестве». На самом деле к тому году они произвели только два прототипа. Прототипы работали, выгравируя узоры более точно, чем любая литографическая машина в истории. Но они были мучительно медленными. Источник света был все еще слишком скудным. В литографии важен каждый фотон; чем толще вы сможете их создать, тем быстрее вы сможете разместить шаблон на кремнии.

Тем временем машина росла до невероятно сложных размеров. В нем были роботы-манипуляторы, перемещающие пластины, двигатели, которые разгоняли сетку — этот большой кусок стекла, удерживающий узор — до 32-кратной силы земного притяжения, и целых 100 000 деталей, 3 000 тросов, 40 000 болтов и два километра шлангов. Хуже того, все было взаимосвязано: одна часть работала, а где-то еще возникала проблема. Выяснилось, например, что тепло от EUV-света микроскопически изменило размеры зеркал. Это вынудило Zeiss и ASML разработать датчики, которые обнаруживали бы любые изменения, запуская программное обеспечение, которое изменяло бы положение зеркал с помощью точных приводов.

«Решая одну проблему, мы переходили к следующей, — говорит Беншоп. «Каждую гору, на которую ты взбирался, ты видел следующую гору, которая была еще выше».

Многие наблюдатели в индустрии микрочипов, наблюдая, как ASML снова и снова отстает от графика, полагали, что они потерпят неудачу.

Эти турбомолекулярные насосы удаляют воздух и другие газы для создания вакуума внутри машины EUV, что имеет решающее значение, поскольку свет EUV поглощается воздухом.

Насосы вращаются со скоростью 30 000 об/мин и выбивают отдельные молекулы газа одну за другой.

CHRISTOHER PAYNE

«Девяносто пять процентов умных людей думали, что EUV никогда не сработает, — говорит Си Джей Мьюз, аналитик полупроводниковой отрасли из Evercore.

В то время как ASML усердно трудился над EUV, они и остальная часть отрасли выполняли все более изощренные трюки, чтобы максимально увеличить производительность глубокого ультрафиолетового света, чтобы упаковать больше транзисторов в микросхемы. Один из методов, называемый «иммерсионным», заключался в том, что на чип наносился слой воды, который преломлял входящий свет и позволял ему сфокусироваться более плотно.

Инженеры-литографы также разработали технику многократного формирования рисунка и вырезания слоя чипа — так называемое «множественное формирование рисунка» — для получения более мелких деталей. Вместе эти подходы позволили уменьшить размер компонентов чипа до 20 нанометров.

Но эти причудливые инновации также значительно усложнили процесс производства чипов. Погружение требовало управления присутствием воды в деликатном процессе литографии, а это непростая задача. А разработчики чипов сочли обременительным изменить свои конструкции для работы с множественными паттернами. Deep UV выдыхался — и все это знали.

Однако к середине 2010-х стало казаться, что EUV наконец может прийти на помощь. Браун и его команда погрузились в научную литературу в поисках способов извлечь больше пользы из каждой капельки олова. Как бывший университетский исследователь, изучавший физику плазмы, он был известен в ASML тем, что поднимал острые научные вопросы; технический директор в шутку вручил ему табличку с надписью «Научно точно, но практически бесполезно».

На этот раз погружение в научную литературу окупилось. Он предложил концепцию двукратного поражения лазером каждой капли олова. Первый взрыв сплющил каплю в форму блина, что позволило второму взрыву — на миллионные доли секунды позже — произвести гораздо больше EUV. Команда Брауна разработала способ сделать это в масштабе.

Другие открытия произошли по счастливой случайности. По мере того, как их способность сжигать олово улучшалась, в процессе производилось больше мусора, чем мог очистить водород. Производительность зеркала ухудшалась. И вот однажды они заметили кое-что забавное: зеркала не портились так быстро после того, как машина была открыта для обслуживания. Как оказалось, кислород во входящем воздухе помог обратить загрязнение вспять. ASML предусмотрел в конструкции время от времени добавление небольшого количества кислорода.

К середине 2017 года у компании наконец-то появилась работающая демонстрация, позволяющая протравливать чипы с приемлемой для отрасли скоростью — 125 пластин в час. Из своего офиса в Сан-Диего Браун смотрел демонстрацию в Нидерландах. Он был в восторге; он переоделся в гавайскую рубашку, заявив, что наконец-то сможет отправиться в отпуск.

«Эта штука была похожа на ззз ззз ззз ззз », — вспоминает он, имитируя скорость движения сетки и роботизированной руки, скользящей по новой пластине примерно каждые 30 секунд. «Это была последняя костяшка домино, которая, по сути, говорила: «Да, литография EUV будет». Как только рынок осознал, что у ASML есть монополия на передовые инструменты, ее акции начали стремительно расти, достигнув 549 долларов и сделав рыночную капитализацию компании почти такой же, как у Intel.

Если вы любите редуктор, как и я, машина действительно великолепна на вид — чудо инженерной мысли. Когда я был в Уилтоне, они подвели меня, чтобы посмотреть на массивный блок фрезерованного алюминия, образующий верхнюю часть устройства. Это восемь футов в длину, шесть футов в ширину и два фута в толщину. Блестящий, как шасси космического корабля, он держит стеклянную сетку, а также имеет огромные бочкообразные молекулярные насосы. Каждый насос содержит крошечные лопасти, которые вращаются со скоростью 30 000 об/мин, высасывая все газы из машины, создавая внутри вакуум. «Они фактически сбивают молекулы газа с пути, одну за другой, — сказал мне Уилан.

Можно утверждать, что главный успех ASML заключается не столько в создании машин, сколько в их измерении. Когда я снял свой костюм кролика, я посетил механический цех, где вырезали огромные куски стекла для сетки. После того, как каждый кусок стекла измельчен, его помещают на машины, которые постепенно сглаживают его в течение сотен часов в течение нескольких недель. Как сказал мне менеджер механического цеха Гвидо Каполино, они измеряют стекло на всем протяжении, чтобы увидеть, сколько дефектов удаляется, начиная с грубых микрон. Он указал на полировальную машину позади нас, где кусочки стекла медленно вращались поверх взвеси влажной полирующей смеси.

Эта настольная экспериментальная установка на заводе ASML в Сан-Диего используется для тестирования узлов генератора капель — части источника света EUV-машины. Зеркала внутри литографической машины могут накапливать оловянные частицы от источника света EUV. После того, как зеркала очищены и отполированы, эта машина используется для их осмотра.

КРИСТОФЕР ПЕЙН

«Здесь изменчивость измеряется ангстремами и нанометрами, — сказал он. Использование стекла в сетке имеет решающее значение; он не деформируется под воздействием тепла так сильно, как металл. Но чертовски сложно вырезать — еще одна проблема, которую инженерам пришлось медленно решать.

Успех ASML с EUV принес компании глубокое уважение в индустрии микрочипов. Крис Мак, ветеран литографии чипов с четырехлетним стажем, в настоящее время является техническим директором Fractilia, фирмы, которая занимается разработкой программного обеспечения для производства микросхем. Он говорит, что причина, по которой ASML и ее партнеры преуспели там, где другие даже не осмеливались пытаться, — это чистое упорное упорство.

«Они очистили лук», — сказал он мне. «Они идут, О, теперь у меня есть следующий слой. А потом они тянут этот слой. И тогда никто толком не знает, прогнило ли оно в сердцевине или будет хорошо. Они просто продолжают очищать его. И к их чести, они никогда не сдавались».

Теперь, когда у них есть возможность создавать все более и более мелкие компоненты , крупные фирмы, такие как Intel, TSMC и Samsung, могут создавать все более быстрые и энергосберегающие чипы.

«Наши разработчики могут вздохнуть с облегчением, — говорит Сэм Сивакумар из Intel. «Закон Мура жив».

По мере того, как все больше устройств EUV выходит в сеть и их стоимость амортизируется, технология будет распространяться на все большее число повседневных устройств. Единственное место, которое не выиграет от революции EUV — по крайней мере, в краткосрочной перспективе — это Китай.

Источник света EUV находится в испытательном отсеке в чистой комнате ASML.

Обеспокоенные тем, что Китай представляет собой технологическую угрозу, администрации Трампа и Байдена успешно оказали давление на Нидерланды, чтобы они не позволили ASML продавать машины EUV клиентам там.

Может ли Китай просто производить свои собственные устройства EUV? Некоторые обозреватели отрасли подозревают, что это невозможно. Успех ASML с EUV потребовал огромного сотрудничества с фирмами, расположенными повсюду, от Германии и США до Японии (что делает химические вещества критически важными для литографических масок). По словам Уилла Ханта, аналитика из Центра безопасности и новых технологий Джорджтаунского университета, Китай, будучи относительно изолированным, сам по себе имеет мало шансов. «Он не может закрыть этот разрыв», — говорит он.

Что возможно, предполагают другие наблюдатели, так это то, что Китай просто не сможет покупать машины EUV. Как правило, китайские производители чипов работают с инструментами последнего поколения, которые на шаг отстают от того, что используется TSMC на Тайване, Samsung в Корее или Intel в США, говорит Си Джей Мьюз. Поэтому, когда первое поколение машин EUV от ASML станет немного старше — через несколько лет — и промышленность перейдет на более новые модели, Китаю может быть разрешено покупать их.

А на самом деле ASML уже работает над улучшенной версией устройства. Он сможет сфокусировать EUV-свет еще более четко благодаря тому, что известно как более высокая числовая апертура, что позволит ему вытравливать компоненты шириной менее 10 нанометров. Эта машина EUV с «высокой числовой апертурой» будет иметь большие зеркала, что потребует увеличения размеров всей машины. В настоящее время Intel является первым покупателем одной из этих машин нового поколения и рассчитывает продать свои первые чипы, созданные на их основе, к 2025 году.

ASML и большинство наблюдателей считают, что EUV будет способствовать развитию чипов как минимум до 2030 года, а возможно, и дольше. В конце концов, некоторые уловки, разработанные разработчиками чипов для поддержания глубокого УФ-излучения в течение столь длительного времени, должны быть воспроизведены с EUV.

Но в какой-то момент в следующем десятилетии или около того стремление производителей чипов сократить количество функций начнет наталкиваться на некоторые физические ограничения, которые еще сложнее, чем те, которые они преодолели в настоящее время. Во-первых, начинают возникать квантовые проблемы. Действительно, они уже есть: производителям микросхем, использующим машины ASML EUV, приходится бороться со «стохастическими ошибками» — лучи света EUV естественным образом сбиваются с пути, создавая неправильные узоры на чипах. Это еще не ошеломляющие проблемы, но чем меньше производителей микросхем, тем больше они будут хмурить брови.

Предполагая, что «высокая числовая апертура» сохраняет действие закона Мура до 2030 года, что произойдет тогда? Отраслевые эксперты считают, что ASML продолжит исследовать устройства с еще более высокой числовой апертурой, что позволит им фокусировать EUV на все более и более мелких точках. В то же время разработчики микросхем изучают стратегии улучшения микросхем, которые не так сильно зависят от дальнейшей миниатюризации, такие как расширение архитектуры вверх и встраивание в третье измерение путем наложения слоев микросхемы. Что касается технологии литографии, которая может появиться после EUV, пока никто не знает. Сивакумар из Intel не стал бы спекулировать; Мак сказал, что, кроме EUV с высокой числовой апертурой, «ничего другого» не находится в стадии интенсивной разработки.

В чистой комнате Wilton Уилан дал мне взглянуть на их машину EUV с высокой числовой апертурой.